Bezotarciowe stoliki nanopozycjonujące Flexure: Pozycjonowanie wózków z precyzją 0,1 nm na przegubach sprężystych

Sprężyste odkształcenie monolitycznego korpusu ze stali nierdzewnej lub tytanu

W pozycjonowaniu próbek w mikroskopii skaningowej (SEM), litografii promieniowej czy montażu światłowodów, stosowanie klasycznych wózków tocznych na szynach profilowanych napotyka opór tarcia. Zjawisko przeskoku początkowego (Stick-Slip) wywołuje błędy nawrotne, uniemożliwiając stabilne zatrzymanie osi w skali sub-nanometrycznej.

W modułach o ultra-wysokiej powtarzalności stosuje się Bezotarciowe Stoliki Nanopozycjonujące (Flexure-Guided Nanopositioning Stages).

Stolik nie posiada żadnych łączonych elementów ruchomych, kulek ani wałków. Korpus wycinany jest metodą elektrodrążenia drutowego (EDM) z jednego bloku stali kwasoodpornej lub tytanu, tworząc matrycę sprężystych przegubów cięciwowych (Flexure Hinges).

Ruch wózka wymuszany jest przez stos piezoceramiczny, który gnie przeguby w granicach ich odkształcenia sprężystego.

• Rozdzielczość ruchu do 0,1 nm: Płynne przemieszczanie bez jakiegokolwiek tarcia statycznego i kinetycznego.
• Nieskończona żywotność mechaniczna: Praca wyłącznie w zakresem odkształceń sprężystych materiału bez zużycia ściernego.
• Bezpośrednia praca w ultra-wysokiej próżni: Brak konieczności stosowania smarów i braku ryzyka odgazowywania.